硬齒面滲碳磨齒齒輪的組成部分主要就是輪齒、齒槽、端面、法面、齒頂圓、齒根圓、基圓、分度圓。
輪齒簡稱齒，是齒輪上每一個用于嚙合的凸起部分，這些凸起的部分一般都呈現輻射狀進行排列，配對齒輪上的輪齒互相進行接觸，就可以使齒輪持續的嚙合運轉；
齒槽是齒輪上兩相鄰輪齒之間的空間；端面是在圓柱齒輪或圓柱蝸桿上，垂直于齒輪或蝸桿軸線的平面。
法面指的就是垂直于輪齒齒線的平面。
齒頂圓指的則是齒所在的圓。
齒根圓是指槽底所在的圓。
基圓是形成漸開線的發生線做為純滾動的圓。
分度圓是在端面內計算齒輪幾何尺寸的基準圓。
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